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Disque en céramique de nitrure de silicium

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Le nitrure de silicium peut également être appliqué aux cellules solaires. Une fois le film de nitrure de silicium plaqué par PECVD, il peut non seulement être utilisé comme film antireflet pour réduire la réflexion de la lumière incidente, mais également, dans le processus de dépôt du film de nitrure de silicium, les atomes d'hydrogène du produit de réaction entrent le film de nitrure de silicium et la plaquette de silicium. Il agit comme un défaut de passivation. Ici, le rapport des numéros atomiques de l'azote du nitrure de silicium n'est pas strictement de 4:3, mais varie dans une certaine plage en fonction des conditions du procédé, et les propriétés physiques du film correspondant aux différents rapports atomiques sont différentes.
Pour turbines à gaz ultra haute température, moteurs d'avions, fours électriques, etc.

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